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ES500釹鐵硼蒸發鍍鋁設備

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ES500是我公司推出的一款釹鐵硼材料表面鍍鋁設備,傳統的鋁鐵硼材料鍍鋁來防腐蝕,一般都是通過水電鍍的方式處理,水電鍍的主要問題是質量不可靠、生產過程中對環境的污染嚴重,我們利用真空鍍膜原理,利用磁控濺射和熱蒸發的鍍膜方式,輔助以高壓離子轟擊,在釹鐵硼材料上實現快速鍍制致密鋁膜,ES500設備的主要技術規格如下:
 
真空室尺寸 L1000mm * H1000mm * W700mm
均勻可鍍區 Ø600mm * 700mm
極限真空度 3.0*10-4Pa
壓升率 0.33Pa/hr(常態)
冷卻水 5ton/hr
占據空間 4.0*3.0*3.5m3
真空室 日韓304不銹鋼,雙層內襯,五年質保
抽氣系統 Leybold擴散泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵
真空檢測 SKY90復合真空計
流量控制 七星華創7S-CS200數字流量計/Brooks/MKS/AE
轉架 大網籠帶一次自轉和小網籠帶二次自轉,保證工件之間無磕碰接觸
磁控濺射 柱狀濺射靶1套
蒸發舟 氮化硼蒸發舟5套
送絲機構 送絲速度可調,保證不同的蒸發沉積速率
轟擊電源 最高可達3000V
加熱系統 最高300度,2根熱電偶監測
冷卻水循環系統 配日本SMC水流開關,智能控制
電氣元件 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器

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