硬質(zhì)鍍膜設(shè)備 當(dāng)前位置:主頁(yè) > 鍍膜設(shè)備 > 硬質(zhì)鍍膜設(shè)備 >
- 詳細(xì)介紹
AS700是針對(duì)鍍膜涂層服務(wù)企業(yè)和刀模具生產(chǎn)企業(yè)開(kāi)發(fā)的機(jī)型，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，裝載量大，具體技術(shù)規(guī)格如下：
| 真空室尺寸 | Ø900mm * H1200mm |
| 均勻可鍍區(qū) | Ø700mm * H800mm |
| 極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 壓升率 | 0.33Pa/hr（常態(tài)） |
| 冷卻水 | 6ton/hr |
| 占據(jù)空間 | 4.5*4.0*3.5m3 |
| 真空室 | 304不銹鋼 |
| 抽氣系統(tǒng) | 分子泵+粗抽泵+羅茨泵 |
| 真空檢測(cè) | 薄膜規(guī)+復(fù)合真空計(jì) |
| 流量控制 | 四路MFC |
| 轉(zhuǎn)架 | 可移出式下轉(zhuǎn)架（4軸、5軸、6軸、8軸、9軸、12軸任選） |
| 陰極電弧 | 最多4組（16套）4G-CAE（靶材規(guī)格100*20） |
| 偏壓電源 | 德國(guó)霍廷格偏壓Huettinger Bias 26KW/珠海盛普PLS-30KW |
| 智能源擋板 | 1套，實(shí)現(xiàn)鍍膜前的靶材預(yù)清洗 |
| 加熱系統(tǒng) | 最高500度，3根熱電偶監(jiān)測(cè) |
| 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開(kāi)關(guān)，智能控制 |
| 電氣元件 | 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開(kāi)、接觸器 |
可選裝如下配置：
1、標(biāo)準(zhǔn)夾具
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